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LCD級磷酸
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LCD級磷酸

液晶酸
零售價
5600.0
市場價
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產品編號
LCD grade
數量
-
+
庫存:
500
MT
所屬分類
返回列表
1
產品描述
參數

電子級磷酸

性狀:

無色、無臭、粘稠狀液體,溶于水及乙醇。

用途:

廣泛應用于超大規模集成電路, 薄膜液晶顯示器等微電子工業,主要用于芯片的濕法清洗和濕法蝕刻。

 

包裝:

330kg IBC桶裝, ISO Tank。

 

Specifications of Phosphoric Acid Electronic Grade 

National Standard GB 28159-2011

 

No.

Items of Analysis

Unit

E1LCD grade

E2 (IC grade)

1

磷酸 H3PO4

%

85-87

85-87

2

易氧化物 H3PO3

%

≤0.005

≤0.001

3

硝酸鹽NO3

mg/kg

≤5

≤0.5

4

硫酸鹽SO4

mg/kg

10

≤5

5

氯化物Cl

mg/kg

≤1

≤0.5

6

Al

µg/kg

≤200

≤50

7

B

µg/kg

-----

≤50

8

Sb

µg/kg

≤3000

≤300

9

As

µg/kg

≤100

≤20

10

Ba

µg/kg

≤100

≤20

11

Cd

µg/kg

≤100

≤20

12

Ca

µg/kg

≤1000

≤50

13

Cr

µg/kg

≤100

≤20

14

Co

µg/kg

≤100

≤20

15

Cu

µg/kg

≤50

≤20

16

Ga

µg/kg

≤100

≤10

17

Au

µg/kg

≤100

≤10

18

Fe

µg/kg

≤300

≤50

19

Pb

µg/kg

≤100

≤20

20

Li

µg/kg

≤100

≤10

21

Mg

µg/kg

≤100

≤20

22

Mn

µg/kg

≤100

≤20

23

Ni

µg/kg

≤100

≤20

24

K

µg/kg

≤100

≤20

25

Ag

µg/kg

≤100

≤20

26

Na

µg/kg

≤500

≤50

27

Sn

µg/kg

------

≤10

28

Sr

µg/kg

≤100

≤20

29

Ti

µg/kg

≤100

≤50

30

Zn

µg/kg

≤100

≤50

31

顆粒 Granule

µm,pcs/ml

-----

------

關鍵詞:
電子磷酸
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